Добрый день!
Попалась ошибка er97 на частотном регуляторе M200-06200440A. Аналогичные устройства ATV61WD75N4C, 3G3RV-A4150, IMS20041-V5-C24-F1-E4 установленные на насосах без неисправностей.
Расшифровку нашел в поисковике по запросу "Сферы применения оптических датчиков расстояния." prom-electric.ru/articles/3/10/ . Оказалось сгорел конденсатор.
Всего доброго!